先說(shuō)什么是無(wú)塵室，無(wú)塵室就是把壓力，溫度，濕度，氣流的分布和塵埃還有速度，控制在一定范圍內(nèi)的一個(gè)空間 。
而關(guān)于他等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)是依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無(wú)塵室分為六級(jí)。 分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，無(wú)塵室的等級(jí)是用在一定塵粒的尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示的。制 造集成電路所需要的無(wú)策劃你是的潔凈度就必須高于1000級(jí)，聯(lián)邦規(guī)格的等級(jí)中Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空 氣中，含有多少個(gè)0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱(chēng)為[等級(jí)○○]。比如說(shuō)：等級(jí)10是指空氣中俺有10個(gè)0.5以下 的時(shí)候。自然界大氣中一般含有的微粒是在300000到30000000個(gè)。
在jis的標(biāo)準(zhǔn)下，無(wú)塵室的潔凈度有8個(gè)等級(jí)，也就是說(shuō)：在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以 下時(shí)為1;百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2;千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3，一次類(lèi)推。而一般潔凈度就是指空氣的潔凈等 級(jí)。
無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，也是指無(wú)塵室里面所帶的塵埃是遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于一個(gè)一般的環(huán)境的。無(wú)塵室的建立在，最尖端 的產(chǎn)業(yè)發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革二十一世紀(jì)的的今天的必要性也是在提高的。由于現(xiàn)在商品質(zhì)量的高要求，還 有就是塵埃和溫度濕度對(duì)產(chǎn)品的威脅的情況下，無(wú)塵室的要求也日益增加，因此，無(wú)塵室內(nèi)的材料也是相當(dāng)重要的 。隨著集成電路技術(shù)的增加，在凈化工程當(dāng)中，無(wú)塵室的潔凈度的要求也是越來(lái)越高的，就算在工業(yè)上，小于0.1微 米的策劃乃也會(huì)影響產(chǎn)品的生產(chǎn)和運(yùn)行。
無(wú)塵車(chē)間也是可以說(shuō)是無(wú)塵室，是指字將空氣中的微粒子，有害空氣，細(xì)菌等一些污染物，還有溫度濕度，壓力控 制在一定范圍內(nèi)的一個(gè)特設(shè)的房間內(nèi)。不管是在外界的空氣的條件如何變化，室內(nèi)都要維持原先設(shè)定的潔凈度，溫 度濕度的一些特性。而無(wú)塵車(chē)間就是為了控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度和溫度濕度，讓產(chǎn)品處在一個(gè)良好的環(huán)境 當(dāng)中生產(chǎn)制造。
而他的聯(lián)邦(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)( USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3)標(biāo)準(zhǔn)中，潔凈度的級(jí)別分為六個(gè)等級(jí) ，分別是1,10,100,1000,10000,10000,100000。中國(guó)藥品生產(chǎn)車(chē)間的空氣潔凈度級(jí)別的標(biāo)準(zhǔn)分為四個(gè)等級(jí)，分別是 ：100,10000，100000，300000。無(wú)塵車(chē)間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)GB50073-2001?？諝獾臐崈舳鹊臉?biāo)準(zhǔn) 級(jí)別分為9級(jí)
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